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文章详情
FFU在洁净室中的应用
日期:2025-09-09 12:52
浏览次数:1389
摘要:
FFU在使用寿命及维护上已经实践证明无可担心。当前其改进主要是:
(1)取均流及减少噪音的措施,噪音可在50db以内;
(2)动机采用DC/EC(电子整流电机),以耗较原交流电机节约近50%,因为小风机所用小容量(功率<1P)的交流电机,通常皆为电容分相式或隐极式,其效率仅40%左右,而DC/EC电机的效率可达75%~80%;在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行控制以节约能耗,但目前投资回收期尚长而未广泛采用,通常常用分组群控或全部群控。
(3)但FFU出口静压不能过大,通常采用出口风速0.38m/s,此时其静压通常在250Pa以内。
FFU回风切换器与其他方式相比的优点
优点:
(1)灵活性大,便于改造;
(2)占用建筑物空间较少;
(3)洁净净室内空气压力大于回风静压室,排除静压室对污染的可能性。
缺点:
(1)要求回风道全部阻力(包括多孔地板、格栅及风道)、干表冷器阻力及末级过滤器的阻力(在初阻力时),总共应控制在165Pa左右,以满足运行时*大阻力在250Pa以内。因此干表冷器的传热面积要较大,回风道尺寸亦要较大,多孔地板及格栅等的阻力要小,通常作法是:控制干表冷器阻力在50Pa左右,回风道阻力在15Pa以内,否则就需要再增设加压风机切换器,这就是降低了FFU切换器的综合优点。
(2)采用DC/EC电机后,单位风量的能耗可能比当前通常大型离心风机的集中切换器为低,但已有研究指出,比采用改进后的大型轴流风机的回风切换器的能耗还是要高。因此需要注意大型轴流风机的效率提高及其切换器的阻力降低的因素。
(3)通常FFU切换器由于单位风量的能耗较大,因此的冷负荷亦相应增加。
具体情况下的评价
(1)FFU用于老建筑物改造成时,其综合经济性通常往往可取。
(2)洁净度要求严的,末级过滤器满布率100%时,对大的切换器采用FFU,当前还是不经济的;对小切换器有意义作具体比较。
(3)对洁净度要求不甚严的,末级过滤器满布率≤40%时对大切换器综合经济性往往相差不多,但对IC工厂而言,FFU切换器的灵活性是重要的,因此当前IC工厂对过滤器满布率≤40%时,采用FFU切换器已经普遍。
(1)取均流及减少噪音的措施,噪音可在50db以内;
(2)动机采用DC/EC(电子整流电机),以耗较原交流电机节约近50%,因为小风机所用小容量(功率<1P)的交流电机,通常皆为电容分相式或隐极式,其效率仅40%左右,而DC/EC电机的效率可达75%~80%;在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行控制以节约能耗,但目前投资回收期尚长而未广泛采用,通常常用分组群控或全部群控。
(3)但FFU出口静压不能过大,通常采用出口风速0.38m/s,此时其静压通常在250Pa以内。
FFU回风切换器与其他方式相比的优点
优点:
(1)灵活性大,便于改造;
(2)占用建筑物空间较少;
(3)洁净净室内空气压力大于回风静压室,排除静压室对污染的可能性。
缺点:
(1)要求回风道全部阻力(包括多孔地板、格栅及风道)、干表冷器阻力及末级过滤器的阻力(在初阻力时),总共应控制在165Pa左右,以满足运行时*大阻力在250Pa以内。因此干表冷器的传热面积要较大,回风道尺寸亦要较大,多孔地板及格栅等的阻力要小,通常作法是:控制干表冷器阻力在50Pa左右,回风道阻力在15Pa以内,否则就需要再增设加压风机切换器,这就是降低了FFU切换器的综合优点。
(2)采用DC/EC电机后,单位风量的能耗可能比当前通常大型离心风机的集中切换器为低,但已有研究指出,比采用改进后的大型轴流风机的回风切换器的能耗还是要高。因此需要注意大型轴流风机的效率提高及其切换器的阻力降低的因素。
(3)通常FFU切换器由于单位风量的能耗较大,因此的冷负荷亦相应增加。
具体情况下的评价
(1)FFU用于老建筑物改造成时,其综合经济性通常往往可取。
(2)洁净度要求严的,末级过滤器满布率100%时,对大的切换器采用FFU,当前还是不经济的;对小切换器有意义作具体比较。
(3)对洁净度要求不甚严的,末级过滤器满布率≤40%时对大切换器综合经济性往往相差不多,但对IC工厂而言,FFU切换器的灵活性是重要的,因此当前IC工厂对过滤器满布率≤40%时,采用FFU切换器已经普遍。